주요장비

정렬 노광기
정렬 노광기
영문명Contact Mask Aligner
제조사ABM INC
구입연도2010-07-16
모델명ABM IR
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회전 코팅기
회전 코팅기
영문명Spin Coater & Developer
제조사HANSONIC
구입연도2010-07-16
모델명Spin Coater & Developer
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습식 식각장치
습식 식각장치
영문명Wet Etch Station
제조사APEX
구입연도2010-07-16
모델명Wet Etch Station
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열처리/산화 전기로
열처리/산화 전기로
영문명Annealing/Oxidation Furnace
제조사APEX
구입연도2010-07-16
모델명Annealing/Oxidation Furnace
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홀효과측정장치
홀효과측정장치
영문명Hall-Effect Measurement
제조사에코피아(주)
구입연도2010-07-16
모델명HMS-5000
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다이싱 머신
다이싱 머신
영문명Dicing Saw Machine
제조사(주)네온테크
구입연도2010-07-16
모델명NEON-6010, NUV-68
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급속 열처리 장치
급속 열처리 장치
영문명Rapid Thermal Annealing System
제조사(주)브이티에스
구입연도2010-07-16
모델명RtON2000
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RF 스퍼터
RF 스퍼터
영문명RF Sputter System
제조사(주)브이티에스
구입연도2010-07-16
모델명DaON-1000S(SR)
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태양전지분광특성측정기
태양전지분광특성측정기
영문명Solar Cell Spectral IPCE Measurement System
제조사(주)맥사이언스
구입연도2010-07-16
모델명Polaronix K3100 IPCE Measurement System
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태양전지전기특성측정기
태양전지전기특성측정기
영문명Solar Cell Spectral I-V Measurement System
제조사(주)맥사이언스
구입연도2010-07-16
모델명Polaronix K3000 Solar Cell Test System
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