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열전계방사형주사전자현미경

열전계방사형주사전자현미경

  • 영문명FE-SEM
  • 제조사Jeol
  • 구입연도2013
  • 모델명JSM-7100F
신청가능
  • 장비용도 분석
  • 기술분야
  • 반출여부 불가능
  • 수수료 55,000/h, 부가세 포함

    교내
    20,000원/기본1시간+10,000원/시료당
  • 할인율 Family Factory 20%, MOU체결 장비 운용 50%
  • 상세스펙 • Electron Gun : Schottky field emission gun(ZrO/W)
    • Secondary electron resolution :
    -1.2nm@30kV -3.0nm@2kV
    -3.0nm@15kV, 5 nA, WD10nm
    • Acceleration voltage:0.2 to 30kV
    • Magnification : x10~1,000,000
    • Specimen Stage : 5 Axes Motor Stage(X,Y,R,T,Z)
    -X:70nm, Y:50nm, Z:3~41nm, T:-50~70, R:360