한밭대학교공용장비지원센터

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전자빔증착기 기자재 정보
기자재명 전자빔증착기 (E-Beam Evaporator)
사진  사진
모델명 DaON-1000TE
분류 반도체소재부품장비센터
상태 신청가능
분석료 분석료:

* 증착 초기비용: 100,000원(50nm)

* 이 후 증착: 100 nm_100,000 원

* thermal boat (W or C) -(10 W x 100L x 0.3 T) / 100,000원

* Graphite crucible(size_7cc)
  x 1ea = 100,000원

* 두께측정 : 20,000원/시료
  (Wafer size-6“)
규격 Substrate Size : 6-inch

Main Pressure : 10-7 torr

E-Beam Source : 7㏄×4 pocket

Thermal Source : 2 set

Thickness : >2,000Å

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