한밭대학교공용장비지원센터

홈 >

박막두께측정기 기자재 정보
기자재명 박막두께측정기 (Alpha-Step)
사진  사진
모델명 Alpha-Step 500
분류 반도체소재부품장비센터
제조사 KLA-TENCOR
상태 신청가능
분석료 장비분석료
 - 15,000원/1hr
규격 Main Spec.
1)성능
 - Scan Length: 10 mm (400 mil)
 - Scan Speed: 2 μm/sec (0.08 mil/sec) to
 - 200 μm/sec (8 mil/sec)
 - Scan Method: Bi-directional moving stylus stationary stage
 - Sampling Rate: 50 100 200/sec nominal
 - Vertical Range/Resolution: ±6.5 μm (±260 μin)/1A (0.004 μin) 300 μm (12 mil)/25A (1 μin)
 - Stylus Force: Adjustable between 1-100 mg.
 - Software measures and displays on monitor.
 - Variable Image Magnification: 70-210X
 - Repeatability
 - Step Height Repeatability: 10A (1σ)

2)구성
 - 6" sample stage
 - 5urn Radius 60 degree Stylus Tip
 - 1~100mg Stylus Force Control
 - Zoom CCTV Camera
 - PC

설명
 - 박막두께측정기는 박막 코팅, 증착, 나노 가공 후 필름, PCB, FPCB, ITO 등의 표면 형상을 측정하거나 단차(깊이, 두께)를 측정하는 측정기이다.
 - Stylus surface profiler, 2차원 높이 측정기, 표면 단차 측정기, 표면 형상 측정기, 접촉식 박막 두께 측정기, 알파스텝이라 부르기도 한다.



문의)
1. 이  름 : 임 상 철
2. 연락처 : 042-821-1556
3. 이메일 : sclim@hanbat.ac.kr

활용신청