한밭대학교공용장비지원센터

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RF 스퍼터 기자재 정보
기자재명 RF 스퍼터 (RF Sputter System)
사진  사진
모델명 DaON-1000S(SR)
분류 반도체소재부품장비센터
제조사 (주)브이티에스
상태 신청가능
분석료 장비분석료:

* 증착 초기 비용: 100,000원(50nm)

* 이 후 증착: 100 nm / 100,000원

* 두께측정 :  20,000원/시료
  (Wafer size-6“)
규격 1. RF Power : 1KW 6. Wafer size 6-inch



2. DC Power : 3KW 7. Target size 6-inch



3. 기판가열온도 : 600℃



4. 터보펌프 1,500L/sec



5. 최대진공도

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