한밭대학교공용장비지원센터

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DC 스퍼터 기자재 정보
기자재명 DC 스퍼터 (DC Sputter)
사진  사진
모델명 DaOn-1000S(SD)
분류 반도체소재부품장비센터
제조사 VTS
상태 신청가능
분석료 * 증착 초기 비용: 100,000원(50nm)

* 이 후 증착: 100 nm /100,000 원

* 두께측정 :  20,000원/시료
  (Wafer size-6“)
규격 Wafer size : 6-inch

DC power : 1㎾

Main Pressure : 10-7 torr

Target Size : 6-inch - T : 1/4

Substrate Temp. : 400℃

Chamber : Main & load-lock

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