한밭대학교공용장비지원센터

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정렬 노광기 기자재 정보
기자재명 정렬 노광기 (Contact Mask Aligner)
사진  사진
모델명 ABM IR
분류 반도체소재부품장비센터
제조사 ABM INC
상태 신청가능
분석료 장비분석료:

* 10,000원/30분
규격 Resolution : 1㎛

Wavelength : 250∼450㎚

Microscope : 50∼200×

Exposure Mode : Hard Contact

Mask Size : 6-inch, piece

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