한밭대학교공용장비지원센터

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Probe Station 기자재 정보
기자재명 Probe Station (Probe Station)
사진  사진
모델명 DE / PM5
분류 반도체소재부품장비센터
제조사 Karl Suss
상태 신청가능
분석료 장비분석료:

* 50,000원/시료  (시료 3개 미만. 1만원 /3개 이상 시료당)
규격 Max. wafer size : Φ155㎜

Range of travel in X, Y : 130㎜

Chuck rotation range : 360℃

Control adjustment : 0∼1.5㎜

Range of movement : 0∼5㎜

Movement ratio : 1/1∼20/1

Wide field eyepiece : 10×

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