한밭대학교공용장비지원센터

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박막두께측정기 기자재 정보
기자재명 박막두께측정기 (α-step)
사진  사진
모델명 Dektak 150
분류 화학소재상용화 지역혁신센터(RIC)
제조사 Veeco
상태 신청가능
분석료 20,000원/ea  3D: 40,000원/h
20,000/h [자가사용]
응용분야 Wafer 두께, Thin film 높이와 Stress 측정
규격 Measurement technique : Stylus profilometry
Measuremant capability : Two-dimensional surface profile
Stylus sensor : Low-lnertia Sensor (LIS 3)

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