한밭대학교공용장비지원센터

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X선 광전자분광분석기 기자재 정보
기자재명 X선 광전자분광분석기 (X-ray Photoelectron Spectroscopy)
사진  사진
모델명 PHI VersaProbe XPS Microprobe
분류 반도체소재부품장비센터
제조사 ULVAC-PHI INC
상태 신청가능
분석료 ■ 분석의뢰시 장비분석료 :

1. 조성비(Survey) 분석 시료 : 50,000/point

2. 원소분석(Narrow) 시료 : 90,000/point

3. Depth profile : 170,000/point

4. 기타/Mapping, Angle resolved 등은 장비 담당자와 상담 필요


■ 자가 사용시 장비분석료 :

1. XPS 장비 자가사용은 본 반도체소재부품장비센터에서 실시하는 소정의 장비교육을 이수 하고 장비사용에 문제가 없다고 판단한 업체에 한해 자가사용을 허가 한다.

2. 자가사용자의 사용료는 일반분석의 20% 감면한다.

3. 한밭대학교 가족회사로 등록된 업체 및 교내사용자의 경우 장비사용료 30% 추가 감면한다.
규격 Monochromatic X-ray dual source : Al & Mg
Ultimate vacuum : 5x10-10 Torr

Hemispherical energy analyzer

(Resolution 0.5 eV)
Temperature Range : -120K ~ 500K

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